課程名稱 |
光電半導體技術 COMPOUND SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY |
開課學期 |
94-2 |
授課對象 |
電機資訊學院 光電工程學研究所 |
授課教師 |
林浩雄 |
課號 |
EE5115 |
課程識別碼 |
921 U7150 |
班次 |
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學分 |
3 |
全/半年 |
半年 |
必/選修 |
選修 |
上課時間 |
星期四6,7,8(13:20~16:20) |
上課地點 |
電二145 |
備註 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/942CST |
課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
本課程介紹以GaAs及InP為主的三五族化合物半導體材料系統的磊晶及製程技術。
一、 光電半導體材料的種類及基本特性
二、 塊材成長技術
三、 真空技術
四、 磊晶技術:分子束磊晶法
五、 磊晶技術:有機金屬化學沈積法
六、 磊晶技術:液相磊晶法
七、 製程技術:光罩幕法、乾濕式蝕刻、離子佈值、雜質擴散、歐姆接觸
八、 量測技術: X光繞射、光激螢光譜、霍爾效應
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課程目標 |
瞭解三五族化合物半導體的磊晶、製程與量測技術 |
課程要求 |
無預修課程 |
預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
主要參考書目:
1. T. Swaminathan, and A. T. Macrander, Materials aspects of GaAs and
InP based structures, Prentice Hall, 1991.
2. A. Katz, Indium Phosphide and related materials: Processing,
Technology, and Devices, Artech House, 1992.
3. R. E. Willams, GaAs processing technique, 2nd Ed., Artech House, 1990.
其他參考書目:
1. A. Roth, Vacuum technology, North-Holland, 1976.
2. B. Chapman, Glow discharge processes, New York :Wiley, 1980.
3. M. J. Howes, and D. V. Morgan, GaAs materials devices and circuits,
Chichester : Wiley, 1985.
4. E. H. C. Parker, The technology and physics of molecular beam
epitaxy, New York : Plenum Press, 1985.
5. M. B. Panish and H. Temkin, Gas source molecular beam epitaxy,
Springer-Verlag, 1993.
6. M. A. Herman and H. Sitter, Molecular Beam Epitaxy, Springer-Verlag,
2nd Ed., 1996. |
評量方式 (僅供參考) |
No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
1. |
期中考 |
35% |
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2. |
期末考 |
45% |
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3. |
隨堂測驗 |
0% |
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4. |
作業 |
20% |
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5. |
報告 |
0% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
第1週 |
2/23 |
投影片下載 Properties 01 |
第3週 |
3/09 |
投影片下載 Properties 02 |
第4週 |
3/16 |
投影片下載 Properties 03 |
第5週 |
3/23 |
投影片下載 Bulk growth |
第6週 |
3/30 |
投影片下載 Vacuum technology |
第7週 |
4/06 |
投影片下載 Liquid phase epitaxy |
第10週 |
4/27 |
投影片下載 Molecular beam epitaxy |
第11週 |
5/04 |
投影片下載 Molecular beam epitaxy |
第12週 |
5/11 |
投影片下載 Molecular beam epitaxy |
第13週 |
5/18 |
投影片下載 vapour phase epitaxy |
第14週 |
5/25 |
投影片下載 vapour phase epitaxy |
第16週 |
6/08 |
投影片下載 processing |
第17週 |
6/15 |
投影片下載 processing 20060615 |
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